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上海索伦水滴角测试仪有助于芯片半导体行业接触角测量

2019-6-21 11:08:23
上海索伦从基本原理来看,水滴角测试仪通常是指以蒸馏水或超纯水为探针液体,通过界面化学的基本分析原理,采用视频光学方法测试相应固体材料表面物理化学性质的分析仪器。

它属于界面化学分析仪器中最关键的仪器之一有助于芯片半导体行业接触水滴角测试仪。

作为科诺中国的战略投资公司,上海索伦在水滴角测试仪的开发和技术方面处于领先地位。这一领先地位不是自封的,而是基于水滴角测试仪的基本原理和芯片半导体行业对水滴角测试仪的特殊要求。

从基本原理来看,水滴角测试仪通常是指以蒸馏水或超纯水为探针液体,通过界面化学的基本分析原理,采用视频光学方法测试相应固体材料表面物理化学性质的分析仪器。

它属于界面化学分析仪器中最关键的仪器之一目前,世界上主要的水滴角测试仪制造商包括来自德国、芬兰、美国、日本、韩国和中国的水滴角测试仪。

然而,绝大多数水滴角测试仪是基于非常落后的圆、椭圆和切线法分析技术,而不是界面化学。例如,中国仪器制造商(上海索伦除外)、日本和韩国仪器制造商、德国和芬兰仪器制造商以及美国仪器制造商都采用了它们。

但是,这种符合的程度也不是很好,主要是由于固体材料的水滴角测试的特殊要求,对于水滴角测试仪器的的要求非常高,特别是对于半导体芯片行业的要求尤其高。如下图所示,在顶视条件下的晶圆表面的水滴情况如下:

上海索伦水滴角测试仪有助于芯片半导体行业接触角测量


通过如上图片可以看出,

1、水滴接触到的位置事实上并非完全均匀。有的地方有刻蚀位,有的没有。


2、水滴接触到的不同位置边缘出现了明显的曲线变化,如下图所示:



3、水滴顶视(正视)时的形状并非是正圆形。

因而,对于芯片、半导体或PCB板行业而言,水滴角测试仪除了要求必须是采用基本的Young-Laplace方程拟合技术而不是普通的量角器法的圆、椭圆或切线法之外,更为关键的技术点在于水滴角测量仪必须是能够准确、精确、灵敏的分析出在侧视条件下左、右角度的变化,同时要求样品台最好是可以实现旋转,即可以测试3D条件下的水滴角测值结果。

这是水滴角测试仪器应用于芯片行业的要求,而液晶屏或手机膜行业通常测试固体表面是玻璃,会不会存在同样问题?


从上面的图片可以看出,事实上手机屏幕也存在左右角度不一致或者在正对的情况下不能形成一个完美的圆的情况。手机行业对手机屏幕或手机薄膜、液晶显示屏和有机发光二极管的设计要求是:一方面,这一方面说明材料本身膜的镀膜均匀度较好、材料更均匀,同时也说明固体表面的清洁度更高。从这个方面来讲,左、右水接触角值对于液晶屏和手机膜的应用的价值更大。而这些更要求水滴角测试仪必须符合:

1、水滴角测试仪必须采用Young-Laplace方程拟合技术,解决重力对测值的影响,让测值结果更符合界面化学原理,测试数据更为可信。

2、在水滴角测试仪采用Young-Laplace方程拟合技术的基础上,必须要求能够准确的分析出左、右角度值的变化以及3D接触角测值结果。这就要求水滴角测试仪必须采用阿莎算法(ADSA-RealDrop算法)。

目前,仅上海梭伦提供阿莎算法并拥有国家发明专利技术。作为中国的民营企业,在美国科诺的战略投资下,上海梭伦已经成长为行业技术领先者。我们也愿为中国芯片行业、OLED行业的高精度测量水滴角值提供我们的力量。目前京东方、华为、瑞声科技、环旭电子、士兰微等公司已经批量采购上海梭伦的水滴角测试仪,在此,对于合作伙伴的支持,我们表示最诚挚的谢意。我们也将继续努力,不断提供更符合用户需求的水滴角测试仪。




超高温、高压或真空环境下液体、固体或熔液的界面张力和接触角测值及其意义
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